文件名称：基于声表面波实现数字微流体的产生* (2010年)
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更新时间：2024-05-30 18:31:56
工程技术 论文
数字微流体的产生是压电材料为基片的微流控芯片进行微流分析的前提，报道了在压电基片上应用声表面波技术广生数字微流体的方法。在128°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3基片上集成PDMS微通道，在微通道出口一侧为经疏水处理的销溥片，注射泵产乍恒定流量的微流体经PDMS微通道到达铝薄片并聚集，当聚集的微流体体积足够大时，微流体克服表面张力作用下滑到达压电基片，并在中心频率为27.7MHz叉指换能器激发的声表面波作用下输运，实现微流体的数字化。同时，理论分析了微流体在铝薄片表面上受力状况，并以水为实验对象，进行微