等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石复合膜 (2004年)

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文件名称：等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石复合膜 (2004年)
文件大小：172KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-13 06:47:38
自然科学 论文 运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石／碳化钛复合膜的沉积。实验条件：甲烷流量与氢气流量比为1：50，基体温度860℃，等离子体偏压300 V，沉积气压4 kPa。运用扫描电子显微镜(SEM)分别观察了沉积膜的表面和断面形貌；运用能量扩散电子谱(EDX)对沉积的复合膜进行分析，观察到Ti元素峰和C元素峰；运用X射线衍射(XRD)得到相应的金刚石衍射峰和碳化钛衍射峰。实验表明，用等离子体辅助热丝化学气相沉积法可以制备出晶型良好的金刚石复合膜。