文件名称：La掺杂BaTi2O5薄膜的制备及性能 (2015年)
文件大小：1018KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-29 01:32:18
自然科学 论文
采用溶胶-凝胶法在 Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上成功制备了不同摩尔分数 La 掺杂 BaTi2 O5 薄膜。研究了不同 La掺量的BaTi2 O5 (Ba1-xLaxTi2 O5 )薄膜的物相组成、介电性能和铁电性能。XRD 分析结果表明,采用溶胶-凝胶法经过850 ℃退火制备的Ba1-xLaxTi2 O5 (0≤x≤0.01)薄膜样品结晶较好,无杂相出现。La 掺杂提高了薄膜的介电性能和铁电性能,当掺杂量0.004≤x≤0.008,测试频率为1 MHz时,薄膜的介电常数约为630;当x=0.004