文件名称：喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计 (2011年)
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更新时间：2024-05-11 20:40:06
自然科学 论文
对喷淋式MOCVD反应器中的传质过程进行了数理分析，并提出了该类型反应器的结构设计原则。数理分析显示，基片上方各点的轴向速度仅是垂直距离的函数，与径向距离无关；顶壁高度对反应室内的传质有重要影响。设计喷淋式反应器结构时，应重点考虑顶壁高度和反应室半径的选取、基片加热方式以及喷淋头结构的柔性设计。
喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计 (2011年)
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