文件名称：论文研究-MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究 .pdf
文件大小：349KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-14 00:24:15
晶体外延生长
MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究 ，钟树泉，任晓敏，利用二维动力学模型，通过优化计算MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 反应器的进气流量、操作压力、衬底温度、基座旋转等几个重要
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