Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究* (2008年)

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文件名称：Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究* (2008年)
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更新时间：2021-05-26 20:58:55
工程技术 论文 硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器，温度变化是其主要误差源之一。分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响，并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃～80℃温度范围内进行测试，得出机械品质因数和谐振频率随温度变化规律。实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降；温度变化时，封装陀螺仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响。