硅微陀螺模态频率温度特性的研究* (2009年)

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文件名称：硅微陀螺模态频率温度特性的研究* (2009年)
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更新时间：2021-04-27 04:32:31
工程技术 论文 硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大，为提高精度，对其进行温度误差补偿很有必要，而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量。通过研究模态频率与温度之间的关系，发现驱动轴谐振频率与温度之间存在很好的线性相关性，同时具有很好的温度重复性。由于谐振频率的精度很高，所以用谐振频率测量温度会有很好的分辨率。因此，可以利用驱动模态的谐振频率来标定陀螺表头内部的温度，为下一步的温度补偿提供新的方法。