残余应力对z轴硅微机械振动陀螺仪性能的影响 (2005年)

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文件名称：残余应力对z轴硅微机械振动陀螺仪性能的影响 (2005年)
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更新时间：2021-05-30 22:41:01
工程技术 论文 z轴硅微机械陀螺仪采用体硅薄片溶解法制作，在加工过程中引入了残余应力。从理论上分析了残余应力对 z轴陀螺仪工作模态的影响，并采用有限元软件进行了仿真。仿真结果和试验表明，第一回合设计的z轴陀螺仪驱动轴受到张应力作用，应力值约为20～30 MPa；检测轴受到压应力的作用。在此基础上提出了两种应力释放结构的设计方案，折叠梁结构的设计和应力释放槽的开设。由第二回合设计的2轴陀螺仪试验结果表明，陀螺仪结构内残余应力得到了较好地释放，大大提高了陀螺仪结构的机械灵敏度。