退火工艺对溶胶凝胶薄膜残余应力的影响

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文件名称：退火工艺对溶胶凝胶薄膜残余应力的影响

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更新时间：2016-03-12 22:23:05

残余应力

　使用溶胶凝胶法制备了铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X 射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的薄膜的残余应力。