文件名称：MOD法在种子层/Ni-W上制备La0．4 Sr0．6TiO3薄膜的研究* (2011年)
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更新时间：2024-06-07 01:38:41
工程技术 论文
采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的 Ni-5％(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层，然后再在种子层上沉积La0.4Sr0．6TiO3薄膜。SEM图像显示种子层颗粒分布均匀，大小基本一致。通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0．6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响，结果显示，在Ar-4％H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好，表面光滑致密，无裂纹和孔洞出现。