文件名称：MOD法在不同种子层上制备La0 .4Sr0 .6TiO3缓冲层的研究 (2011年)
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更新时间：2024-06-09 02:28:48
自然科学 论文
采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%W基带上制备了La0 .4Sr0 .6 TiO3,LaTiO3和SrTiO3三种种子层,然后再在种子层上沉积La0 .4Sr0 .6TiO3薄膜。SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致。通过XRD和SEM研究了不同种子层对La0 .4Sr0 .6 TiO3薄膜取向和表面形貌的影响。结果显示,在LaTiO3种子层上Ar-4%H2气氛下950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现。