ZAO薄膜的制备

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文件名称：ZAO薄膜的制备

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更新时间：2015-03-26 10:54:53

ZAO薄膜

ZAO薄膜的制备采用溶胶–凝胶法制备Al–Sc 共掺杂ZnO 透明导电薄膜，考察了结晶性、晶界状态、紫外–可见光透射光谱及Hall 效应，并讨论其掺杂机制