一种基于小生境微粒群算法的参数窗口选择方法 (2011年)

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文件名称：一种基于小生境微粒群算法的参数窗口选择方法 (2011年)

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更新时间：2024-05-30 18:06:40

自然科学 论文

针对半导*造工艺参数窗口确定过程中要寻找多个极值点的问题,将小生境微粒群优化算法引入其中,通过构造适当的目标函数并结合工艺控制要求,提出一种参数窗口选择方法。在标准一维和二维多峰函数上的测 试结果和实际生产验证结果表明:该算法是一种有效的参数窗口选择方法。