文件名称：ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析 (2006年)
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更新时间：2024-06-05 16:44:37
自然科学 论文
采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备，探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻，退火对薄膜结构的影响。在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明：较低的退火温度有利于提高器件气敏特性，其中经600℃退火的ZnO薄膜的灵敏度最高，其最佳工作温度为350℃，实验制备的ZnO薄膜对丙酮、汽油等有机蒸汽都有较高的敏感性和较短的响应-恢复时间，呈现对有机蒸汽敏感的广谱性。