文件名称：硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析 (2010年)
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更新时间：2024-06-18 15:36:01
工程技术 论文
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究。以反铁电薄膜材料体积应变ε=0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用ANSYS11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率。从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义。