硅基反铁电湿法刻蚀工艺研究

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文件名称：硅基反铁电湿法刻蚀工艺研究

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文件格式：DOC

更新时间：2015-11-11 05:24:19

反铁电材料 刻蚀工艺

介绍了一种基于硅基的反铁电材料的湿法刻蚀工艺研究