铁电薄膜及铁电存储器研究 (2005年) 时间:2021-04-23 05:40:48 【文件属性】: 文件名称:铁电薄膜及铁电存储器研究 (2005年) 文件大小:338KB 文件格式:PDF 更新时间:2021-04-23 05:40:48 自然科学 论文 综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻档层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题。 立即下载