铁电薄膜及铁电存储器研究 (2005年)

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文件名称：铁电薄膜及铁电存储器研究 (2005年)

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更新时间：2024-05-12 23:27:28

自然科学 论文

综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻档层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题。