液态金属离子源与聚焦离子束的研制进展 (1987年)

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文件名称：液态金属离子源与聚焦离子束的研制进展 (1987年)
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更新时间：2021-04-25 02:53:49
自然科学 论文 为了适应大规模集成器件制作工艺发展的需要，开展了液态金属离子源（ＬＭＩＳ）和聚焦离子束（ＮＢ）的研究。研制成针型、同轴针型与毛细管型的镓与金ＬＭＩＳ，Ａｕ－Ｓｉ、Ａｕ－Ｓｉ－Ｂｅ与Ｐｄ－Ｎｉ－Ｓｉ－Ｂｅ－Ｂ三种共晶合金型ＬＭＩＳ：研究了带有控制栅极的ＬＭＩＳ的控制性能；编制了计算聚焦离子枪所需的程序；制成三种型式的聚焦离子枪并获得０．１μｍ直径的聚焦离子束；制成扫描离子显微镜（ＳＩＭ）；初步开展了刻蚀试验。