电子回旋共振(ECR)离子源的研制* (1998年)

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文件名称：电子回旋共振(ECR)离子源的研制* (1998年)
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更新时间：2021-05-21 10:47:35
自然科学 论文 介绍了一种电了回旋共振（ECR）离了源的设计和结构。为了获得长寿命、高等离子密度以及高效传输微波功率，作者通过实验研究发现，利用合适的微波输人三层复合窗（石英：AI103陶瓷和BN）是很有效的，而且。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（87.5mT）和约束等离予体的轴向磁场。利用该离了源制备了C：N团簇纤维。当引出电压为-500V时，在靶室中的640mm样品卜能获得90mA的离了流，其源的寿命可超过300h。