电子回旋共振放电物理过程的数值模拟进展 (2007年)

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文件名称：电子回旋共振放电物理过程的数值模拟进展 (2007年)

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更新时间：2024-06-12 12:42:05

自然科学 论文

本文对电子回旋共振（ECR）放电及ECR等离子体特性模拟中的三种模型：粒子模型、流体模型、混合模型进行了综述、总结和对比，并应用PIC/MCC方法中的电磁模型，对ECR放电电离过程进行了准三维模拟，得出了部分ECR放电的电离特性。