论文研究-化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅 .pdf

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文件名称：论文研究-化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅 .pdf

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更新时间：2022-09-06 12:58:51

硅太阳能电池

化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅，李永祥，郭婉，本文采用易操作成本低的化学液相沉积法（CLD）在p型黑硅衬底上沉积了均匀的Al2O3钝化层,研究了不同退火温度（300、600和900℃）对钝化��