论文研究-加速版图光刻工艺热点检查的方法研究 .pdf

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文件名称：论文研究-加速版图光刻工艺热点检查的方法研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 07:44:09

可制造性设计

加速版图光刻工艺热点检查的方法研究，朱忠华，黄其煜，随着集成电路生产工艺进入亚波长技术节点，由于设计变得更加复杂，使用分辨率增强技术修复光刻工艺热点变得更加困难。为了解决这