论文研究-SJ制造工艺中光刻对准问题的改进方法 .pdf

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文件名称：论文研究-SJ制造工艺中光刻对准问题的改进方法 .pdf

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更新时间：2022-09-04 08:32:13

Super Junction高电压功率半导体

SJ制造工艺中光刻对准问题的改进方法，俞乃霖，，本文基于Super Junction(SJ)结构高电压功率半导体，阐述了如何利用光刻工艺形成SJ的特殊结构，分析了其特殊器件结构造成的光刻工艺难点�