PECVD在太阳能电池上的应用

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文件名称：PECVD在太阳能电池上的应用

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文件格式：PDF

更新时间：2015-12-27 13:24:36

CVD PECVD SOLARCELL 薄膜

很详细的一片论文，讲了PECVD的原理与定义，使用设备，工作压强等参数，应用于solarcell上薄膜制备