PECVD工艺课件 PECVD设备原理/工艺条件

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文件名称：PECVD工艺课件 PECVD设备原理/工艺条件

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文件格式：PPT

更新时间：2013-09-16 06:36:59

半导体,PECVD,薄膜

PECVD定义 PECVD 原理 PECVD的特点 PECVD种类 PECVD的镀膜作用 PECVD的钝化作用