论文研究-大功率LED用SiC衬底刻蚀研究 .pdf

时间:2022-09-11 03:37:50
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更新时间:2022-09-11 03:37:50

干法刻蚀

大功率LED用SiC衬底刻蚀研究,衣振州,申人升,本文采用感应耦合等离子体(ICP)设备,以SF6与02作为刻蚀气体,系统研究了大功率发光二极管(LED)用碳化硅(SiC)衬底刻蚀的工艺参数


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