论文研究-SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf

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文件名称：论文研究-SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf

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更新时间：2022-09-06 13:01:32

SiC

SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析，陈治明，李连碧，用SEM和TEM对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在SiC衬底上外延生长的SiCGe薄膜进行了结构分析，发现薄膜生长具有明显的随温度改变的岛状生长特