论文研究-SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf 时间:2022-09-06 13:01:32 【文件属性】: 文件名称:论文研究-SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf 文件大小:736KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-06 13:01:32 SiC SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析,陈治明,李连碧,用SEM和TEM对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在SiC衬底上外延生长的SiCGe薄膜进行了结构分析,发现薄膜生长具有明显的随温度改变的岛状生长特 立即下载