论文研究-离子注入和退火对3.3V NMOS热载流子注入效应的影响 .pdf

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文件名称：论文研究-离子注入和退火对3.3V NMOS热载流子注入效应的影响 .pdf

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更新时间：2022-09-04 10:31:04

可靠性

离子注入和退火对3.3V NMOS热载流子注入效应的影响，张斌，，在半导体工艺中，在摩尔定律的指导下，器件的关键尺寸不断缩小，以此来不断提升器件的性能，而且为了保持器件性能以及集成性，器