论文研究-离子注入层光学临近效应修正方法的研究 .pdf

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文件名称：论文研究-离子注入层光学临近效应修正方法的研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 09:19:43

光学临近效应修正

离子注入层光学临近效应修正方法的研究，张辰明，，随着集成电路制造技术的发展，栅极尺寸不断缩小。随之而来的离子注入层尺寸也逐渐减小，光学临近效应愈发明显，需要在掩模板上提