论文研究-面向MEMS光开关微装配的控制系统设计 .pdf

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文件名称：论文研究-面向MEMS光开关微装配的控制系统设计 .pdf

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更新时间：2022-09-05 06:36:18

光开关装配

面向MEMS光开关微装配的控制系统设计，陈伟海，黄小津，本文研究并开发了面向MEMS光纤微装配的控制系统，用于完成装配过程中的精密对准和误差补偿操作，并将系统的装配误差成功控制在微��