论文研究-面向MEMS光开关微装配的控制系统设计 .pdf 时间:2022-09-05 06:36:18 【文件属性】: 文件名称:论文研究-面向MEMS光开关微装配的控制系统设计 .pdf 文件大小:994KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-05 06:36:18 光开关装配 面向MEMS光开关微装配的控制系统设计,陈伟海,黄小津,本文研究并开发了面向MEMS光纤微装配的控制系统,用于完成装配过程中的精密对准和误差补偿操作,并将系统的装配误差成功控制在微�� 立即下载