文件名称:MEMS与MEMS光开关 (2005年)
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更新时间:2024-05-18 10:45:22
工程技术 论文
微机电系统(MEMS)技术是一种新型制造技术,在光通信的发展中得到广泛的应用,有极大的市场价值。在整个光通信中,光开关是较为重要的光无源器件,在光网络系统中可对光信号进行选择性操作。随着光通信的日益发展,对光开关的技术要求也日益提高,利用MEMS技术制作的新型光开关具有体积小、重量轻、能耗低、集成化程度高等特点,从而日益成为研究的热点。本文简单介绍了MEMS技术和其主要特点,并较详细地阐述了MEMS技术在光通信中的应用,以及MEMS光开关的结构、发展趋势和目前存在的主要问题。