光栅光阀MEMS光开关系统设计 (2008年)

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文件名称：光栅光阀MEMS光开关系统设计 (2008年)

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更新时间：2024-05-14 00:31:34

自然科学 论文

分析了光栅光阀(grating light valve, GLV)的光学特性，对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点，基于平行平板电容模型的GLV模拟算法，设计了光栅光阀1×2 MEMS（micro