论文研究-基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件 .pdf

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文件名称：论文研究-基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件 .pdf

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更新时间：2022-09-09 07:56:56

湿度传感器

基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件，赵洪元，张代化，本文介绍了一种基于旋涂了PVA薄膜的MEMS薄膜体声波谐振器的高分辨率湿度传感器。本传感器表现出对水蒸气的高敏感度，并可通过监测��