论文研究-基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件 .pdf 时间:2022-09-09 07:56:56 【文件属性】: 文件名称:论文研究-基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件 .pdf 文件大小:516KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-09 07:56:56 湿度传感器 基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件,赵洪元,张代化,本文介绍了一种基于旋涂了PVA薄膜的MEMS薄膜体声波谐振器的高分辨率湿度传感器。本传感器表现出对水蒸气的高敏感度,并可通过监测�� 立即下载