论文研究-氧化镓干法刻蚀研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 06:33:45

氧化镓

氧化镓干法刻蚀研究，张超，夏晓川，本文采用用感应耦合等离子体刻蚀设备，利用六氟化硫和氩气对外延生长在蓝宝石衬底上的氧化镓薄膜进行了刻蚀。通过改变两种气体输