织构对TiN薄膜弹性常数的影响* (2004年)

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文件名称：织构对TiN薄膜弹性常数的影响* (2004年)

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更新时间：2024-06-05 13:40:12

自然科学 论文

用Voigt、Reuss和Hill模型计算了各向同性和具有理想纤维织构的氮化钛（TiN）薄膜的弹性常数矩阵，计算表明：材料的弹性矩阵强烈地依赖于材料的织构。为了定量地分析织构对弹性常数的影响，用晶体取向分布函数（ODF）法推导了弹性常数与织构系数的关系表达式。然后用高斯分布函数作为取向分布函数模拟了弹性常数随织构的变化情况。