离子注入后氧化层BOE腐蚀工艺优化

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文件名称：离子注入后氧化层BOE腐蚀工艺优化

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更新时间：2024-01-20 04:29:13

晶圆、

摘要：半导体器件制备过程中，SiO2牺牲氧化层经常作为离子注入的阻挡层，用来避免Si材料本身直接遭 受离子轰击而产生缺陷，牺牲氧化层在注入完成之后，氧化层的性质和结构会发生较大变化，在被腐蚀去除 过程中，腐蚀速率不确定性较大，本文研究了牺牲氧化层的腐蚀工艺选择过程。