论文研究-光电化学制备相干多孔硅等径控制技术研究 .pdf

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文件名称：论文研究-光电化学制备相干多孔硅等径控制技术研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 06:53:46

光电化学

光电化学制备相干多孔硅等径控制技术研究，刘微，端木庆铎，相干多孔硅(Coherent Porous Silicon, CPS)是通道尺寸在微米量级且大小均匀，空间规则排列的多孔硅阵列，其具有高长径比，大孔隙率等优点，