文件名称：薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真 (2006年)
文件大小：4.43MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-14 14:19:23
工程技术 论文
为了模拟薄膜声体波谐振器（FBAR）的电磁场（EM）分布特性，提出了一种新的FBAR建模方法。该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发，结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的边界条件，推导出了FBAR等效复介电常数的严格解。将电磁场和声场等效到一个复介电常数中，用等效复介电常数的形式来包含电声效应。并基于有限元方法对FBAR全波段进行了仿真。结果表明，该方法的仿真结果与实测数据基本一致，具有很好的准确性。与传统的电路模型比较，由该方法得到的模型能够实现场的不连续仿真和FBAR的电磁