基于Au / ZnO / Al结构的电可调薄膜体声谐振器

【文件属性】：

文件名称：基于Au / ZnO / Al结构的电可调薄膜体声谐振器

文件大小：725KB

文件格式：PDF

更新时间：2024-04-24 00:43:51

研究论文

提出了一种可电调谐的Au / N-ZnO / ZnO / Al薄膜体声波谐振器（FBAR）。 叠层谐振器是Au-压电ZnO层-Al，而肖特基二极管结是Au / N-ZnO半导体层。 FBAR的谐振频率随着结点的变化而变化。