论文研究-纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 .pdf

【文件属性】：
文件名称：论文研究-纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 .pdf
文件大小：513KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-07 10:02:29
半导体材料 纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 ，张然，王俊，直接外延制备的GaAs/Si材料由于不同材料热膨胀系数不同会产生热应力。前人利用光致发光谱和拉曼光谱研究发现，使用图形衬底可减小Ga