论文研究-纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 .pdf

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文件名称：论文研究-纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 .pdf

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更新时间：2022-09-07 10:02:29

半导体材料

纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 ，张然，王俊，直接外延制备的GaAs/Si材料由于不同材料热膨胀系数不同会产生热应力。前人利用光致发光谱和拉曼光谱研究发现，使用图形衬底可减小Ga