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文件名称：论文研究-针对特殊有源区图形设计的Direct STI CMP工艺控制方式优化 .pdf
文件大小：1.12MB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-06 11:50:54
浅沟槽隔离化学机械研磨
针对特殊有源区图形设计的Direct STI CMP工艺控制方式优化，张守龙，程秀兰，本文根据实际生产需求，解决了特殊有源区图形设计的产品在Direct STI CMP生产中无法通过终点探测技术(EPD)进行工艺控制的问题。通过分��