薄膜物理1

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更新时间：2022-08-08 17:56:55

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2、真空测量常用方法：热偶真空规和皮拉尼真空规（热阻真空计）、电离真空规、薄膜真空规真空的作用：（1）避免被蒸发分子或原子与气体分子发生碰撞 2、曝光 3、显影