薄膜物理与技术-6 现代薄膜分析方法1

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文件名称：薄膜物理与技术-6 现代薄膜分析方法1

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更新时间：2022-08-03 18:28:06

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第六章 现代薄膜分析方法6.1概述6.2薄膜形貌/结构6.3薄膜成分薄膜的性能取决于薄膜的结构和成分。其中薄膜结构的研究可以依所研究的尺度范围被划分三个层次：（