基于微电铸的非硅MEMS加速度传感器 (2006年)

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文件名称：基于微电铸的非硅MEMS加速度传感器 (2006年)

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更新时间：2024-06-16 02:36:03

工程技术 论文

简单介绍了Silicon Design公司开发的非硅MEMS传感器的设计、工艺、输出信号的处理技术。通过巧妙设计和使用铸Ni技术成功地改善了梁的扭摆特性。实测结果表明，10 *品的输出交流噪声有效值和漂移被分别控制在0.4 mV和4 mV；50 *品虽然漂移偏大，但其线性系数K2还是达到了10-3～10-4的水准。