MEMS微镜按原理区分1

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文件名称：MEMS微镜按原理区分1

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更新时间：2022-08-08 20:59:49

制造 3d ar

1. 静电驱动所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术 3. 电热驱动电热驱动是利用材料对温度的敏感而产生不同的形变量，从而引起镜面的扭