MEMS扭转微镜静态特性的温度效应分析 (2014年)

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文件名称：MEMS扭转微镜静态特性的温度效应分析 (2014年)
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更新时间：2021-04-23 13:40:00
自然科学 论文 文章从静电力驱动的扭转微镜的静态特性静力学模型出发,分析了扭转微镜静态特性的温度效应。对两组不同尺寸、四种常用材料微镜的吸合电压、释放电压以及偏转角与驱动电压关系,随温度的变化规律进行了数值仿真分析;并采用典型电压值的增量百分比随温度变化的斜率,来量化描述并对多晶硅、polyimide、PDMS和SU-8四种材料的扭转微镜的静态特性受温度的影响。其中SU-8材料的微镜受温度的影响最大。而不同尺寸同种材料的微镜,其静态特性受温度效应影响的程度相同。为扭转微镜使用过程中如何降低温度效应的影响提供了依据。