数字微镜工作原理与应用

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文件名称：数字微镜工作原理与应用

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更新时间：2014-12-13 13:16:18

数字微镜 mems

数字微镜器件是用数字电压信 号控制微镜片执行机械运动来实现 光学功能的装置。它的前身是变形 反射镜器件( deformable mirror device) 。两种名称的英文缩写恰好 都是DMD, 它是由美国德州仪器公 司(TI) 的一名科学家I. J. Hornbeck在1987年发明的, 最初设 计的目的主要用于数字投影和硬复 制。