基于微流体技术的FBAR微质量传感器_吕启蒙 1

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文件名称：基于微流体技术的FBAR微质量传感器_吕启蒙 1

文件大小：360KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-08-04 14:40:35

摘要：基于微机电系统（ＭＥＭＳ）技术的薄膜体声波谐振器（ＦＢＡＲ）在无线通讯领域取得了巨大的成功后，由于其具备厚度薄，体积小，与ＩＣ兼容及谐振频率和灵敏度都远高