201611106109 吴晓芳 基于FBAR的高灵敏度质量传感器研究1

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文件名称：201611106109 吴晓芳 基于FBAR的高灵敏度质量传感器研究1

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更新时间：2022-08-04 12:27:10

摘要I第一章 绪论 1研究背景 1FBAR 传感器的发展历史 1论文主要工作及创新点4第二章 FBAR 传感器的工作原理 5FBAR 基本理论5声传播理论5压电