1315 nm高反射率硅镜的膜系分析

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文件名称：1315 nm高反射率硅镜的膜系分析

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更新时间：2024-03-17 02:19:00

化学氧碘 硅镜 髙反射率 薄膜 COIL

利用TFCALC薄膜设计软件包对TiO2/SiO2, Ta2O5/SiO2和Si/SiO2膜系中心波长为1315 nm的硅镜反射特 性进行了仿真模拟。给出了正入射与45°斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性,并进行了分析与讨论。